1. 設(shè)備功能 :

2. 設(shè)備尺寸: 1760(L)×1340(W)×2200(H)(據(jù)情況可有改動(dòng)）

3. 工作臺(tái)高度: 900±10mm

4. 重量:700kg

5. 工作臺(tái)尺寸: 400×500mm

6. 基板尺寸: 470X370mm(寬度方向?yàn)?70mm)

7. 基板厚度: 0.4～1.1mm8. 平臺(tái)平整度: ±0.01mm

8. 除塵率: >97%(以6μm粒子測(cè)試)

9. 清洗速度范圍: 0-3m/min

10. 生產(chǎn)效率: 20-30s/pcs